图1：TS-960e-5G外观图
背 景
随着5G的不断部署，基站，小型蜂窝，手机和工业设备将需要符合标准的IC设备。而这些部件纳入供应链，意味着IC制造商需要针对与5G芯片的自动化测试系统。自动化测试系统（ATE）将需要对在28 GHz和39 GHz以及6 GHz以下频段运行的无线电，波束形成器，放大器和其他部件进行测试；这就要求ATE中需要包含向量网络分析仪（VNA）和数字I / O等设备。在5G测试设备中，我们注意到越来越多的ATE公司正在进入5G大市场中。Marvin Test Solutions与Rohde＆Schwarz合作开发5G IC的ATE系统，也将参与这场竞争之中。
产 品 介 绍
1、 硬件部分
TS-960e-5G mmWave测试系统可提供高达50 GHz的测试性能。该系统将实验室级RF性能直接集成到mmWave被测设备（DUT）中，用于mmWave设备的多网站生产测试或设备表征。此外，MTS还提供全套数字和参数测试以及SPI / I2C接口支持，以便在功能上控制/监控被测设备。
主要组件（如图2所示）：
Rohde & Schwarz ZNBT40 24通道，40 GHz VNA
Marvin Test GX7205 PXI机箱，为每个DUT提供一个专用32通道，100/125 MHz DIO卡，以及一个GX3104源测量单元（SMU）
Rohde & Schwarz OSP320，增加了4个1×6开关，用于互调测试
Marvin测试头具有产品接口，包括Seiko Epson 8040 Quad Site封装设备处理器的接口
图2：TS-960e-5G内部结构图
1) 开短路以及DC/AC测试
基本版的ATE中包含64个动态数字I / O信道，64个静态数字I / O信道，一个用户可程序设计电源，一个系统自检和夹具。动态数字I/O—GX5296，每引脚PMU功能，可以快速实现开短路以及DC测试；125MHz的数据速率有助于实现AC测试，结合GtDIO6xEasy软件，可以实现pattern文件的编写以及导入，用于验证基本的功能性测试。静态数字I/O——GX5733可以很好的实现切换功能以及环境变量控制；
升级版ATE可以扩展为256个动态数字信道，128个静态数字信道，极大的丰富了系统资源，有助于更大规模的量产测试。
图3：TS-960e-5G数字子系统
2) 射频功能测试部分
ATE中使用Rohde＆Schwarz的ZNBT40是一款多端口向量网络分析仪，工作频率范围为9 kHz至40 GHz，最多可提供24个通道。该仪器可以同时测试多个DUT或测量一个DUT，最多24个通道。即使在具有大量埠的情况下，它也可以在3.5 ms的短测量时间完成201点的扫描。
ZNBT40具有高达135 dB的宽动态范围，高输出功率水平和具有高功率处理能力的输入。该仪器主要用于开发和生产有源和无源多端口组件，如GPS，WLAN，蓝牙和多频段移动电话的前端模块，且能够确定24通道DUT的所有576个S参数。
该网络分析仪没有显示功能，可以很好的节约空间——这对于自动化产品十分有理。它可以通过外部显示器，鼠标和键盘或外部触摸屏进行控制。
图4：TS-960e-5G射频测试子系统
3) Handler界面
对于需要与自动化处理器集成的生产测试应用，TS-960e-5G配备了一个inTEST操纵器，可以提供测试头的精确定位以及与自动探测器和设备处理器接口。TS-960e-5G的设备接口板（DIB）/接收器接口几乎兼容任何设备处理器。
图5：TS-960e-5G界面板
对于量产测试，系统配置EPSON NS-8040设备，该产品具有高稳定性，易操作维护等特点，可以进行多种封转形式芯片的测试工作。
图6：EPSON NS-8040
2、 软件部分
ATE中软件的执行环境为ATEasy，可以轻松完成测试程序的编写和执行管理工作；同时配有ICEasy半导体测试软件包；DIOEasy-Fit：pattern转换和导入工具；GtDio6xEasy：pattern编辑工具；5G VNA，VSA测试套件：可以进行频谱，时序显示及统计，数字调制分析等工作。
ATEasy支持Windows的多种APIs，包括Labview，CVI，Microsoft和Borland C/C++，Microsoft Visual Basic，以及Borland Delphi。
图7：测试程序集
总 结
TS-960e-5G自动化5G芯片测试设备，具有量产的测试速度，实验室级别的测试性能；支持40GHz-53GHz的高频芯片测试工作；可实现多Site的FT测试或晶圆测试，是mmWave设备/模块测试和表征，试验产品和关键产品测试，自动故障分析的理想选择。